宽区域光电离
无需依赖强气流输送离子，适合玻璃基板、晶圆与薄膜附近空间。
软X射线除静电
15kV多头软X射线除静电系统
PW-15H
通过低能软X射线引发空气光电离，为洁净、宽区域和对气流敏感的工艺空间提供静电中和。
FPDOLED半导体
15 kV管电压
150°照射角
24 VDC输入电源
1 : 4一台控制器最多四个机头
产品能力
为设备工位定义的多头静电控制平台
多头分布式安装
一台控制器最多连接四个机头，覆盖搬送、检查、贴合与清洗出口等多个工位。
数字控制
RS-485用于设备集成、状态管理和运行时间记录，最终协议以接口文件为准。
紧凑机头
132.5 × 33.6 × 65.5 mm外形有利于在受限设备空间内布置。
安装与方向
控制端与发射端清晰分离
青色HRS/LED端连接控制器；相反侧圆形窗口为X射线发射端，应朝向待除静电对象。
辐射屏蔽、安全联锁、泄漏辐射、静电衰减、颗粒、臭氧和最终验收要求必须依据具体设备配置、现场EHS要求和第三方验证确定。
设备集成路径
从工位定义到现场验证
围绕实际工艺建立安装、联锁、控制和验收基线。
01工位与静电风险
02空间与照射边界
03控制与安全联锁
04衰减与EHS验证